工業氣(qi)(qi)體(ti)在(zai)國家規范《常(chang)用(yong)危險(xian)化學品(pin)的(de)分類及標志》(GB13690-1992)中(zhong),一般被劃為(wei)第2類緊縮氣(qi)(qi)體(ti)和液(ye)(ye)化氣(qi)(qi)體(ti)。 這(zhe)(zhe)類化學品(pin)系(xi)指(zhi)緊縮、液(ye)(ye)化或加(jia)壓(ya)溶(rong)解(jie)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)。氣(qi)(qi)體(ti)經加(jia)壓(ya)或降(jiang)(jiang)低溫(wen)度,能夠使氣(qi)(qi)體(ti)分子間的(de)距離(li)大(da)大(da)縮小而被壓(ya)入鋼瓶中(zhong),這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)稱(cheng)為(wei)緊縮氣(qi)(qi)體(ti)(亦稱(cheng)為(wei)永久氣(qi)(qi)體(ti), 如(ru)氧(yang)氣(qi)(qi)、氮(dan)氣(qi)(qi)、氬氣(qi)(qi)、氫氣(qi)(qi)等(deng))。對緊縮氣(qi)(qi)體(ti)繼(ji)續加(jia)壓(ya), 恰當降(jiang)(jiang)溫(wen),緊縮氣(qi)(qi)體(ti)就會變(bian)成液(ye)(ye)體(ti)的(de),稱(cheng)為(wei)液(ye)(ye)化氣(qi)(qi)體(ti)(如(ru)液(ye)(ye)氯、 液(ye)(ye)氨、液(ye)(ye)體(ti)二氧(yang)化碳等(deng))。此外,還有一種(zhong)(zhong)性質極(ji)為(wei)不穩定的(de)氣(qi)(qi)體(ti),加(jia)壓(ya)后需溶(rong)于溶(rong)劑中(zhong)儲存在(zai)鋼瓶內,這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)稱(cheng)為(wei)溶(rong)解(jie)氣(qi)(qi)體(ti)(如(ru)溶(rong)解(jie)乙炔等(deng))
具體來說深圳工業氣體可分為以下14種:
1. 深圳特種氣體(Specialty gases) :指(zhi)那些在特(te)定范(fan)疇中應用的, 對(dui)氣(qi)體(ti)有(you)特(te)別(bie)要求的純氣(qi)、高純氣(qi)或由高純單質氣(qi)體(ti)制造的二元(yuan)或多元(yuan)混合(he)氣(qi)。特(te)種氣(qi)體(ti)類別(bie)繁復, 一般可區(qu)分為電子氣(qi)體(ti)、規范(fan)氣(qi)、環(huan)保(bao)氣(qi)、醫用氣(qi)、焊接氣(qi)、殺(sha)菌氣(qi)等, 廣(guang)泛用于電子、電力(li)、石油化工、采礦、鋼鐵、有(you)色(se)金(jin)屬冶煉、熱力(li)工程、生化、環(huan)境監測、醫學研究及確診、食品保(bao)鮮等范(fan)疇。
2、規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)氣(qi)(qi)體(ti)(Standard gases) :規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)氣(qi)(qi)體(ti)屬于規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)物質。規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)物質是高度均勻的(de)(de)、杰(jie)出穩(wen)定(ding)和(he)量(liang)(liang)值精確的(de)(de)測(ce)定(ding)規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan), 它們具(ju)有(you)(you)復現、保存和(he)傳(chuan)遞(di)(di)量(liang)(liang)值的(de)(de)基本(ben)效(xiao)果(guo), 在(zai)物理(li)、化(hua)學、生物與工程(cheng)(cheng)丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang)范(fan)疇中用(yong)于校(xiao)(xiao)正( [準丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang)儀器和(he)丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang)進程(cheng)(cheng), 點評丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang)辦法的(de)(de)精確度和(he)檢(jian)測(ce)實(shi)驗室(shi)的(de)(de)檢(jian)測(ce)才(cai)能, 確認資料(liao)或產品(pin)(pin)的(de)(de)特性(xing)量(liang)(liang)值, 進行(xing)量(liang)(liang)值仲(zhong)裁等。大型乙烯(xi)廠、合成氨(an)廠及其它石化(hua)企業, 在(zai)裝置開車(che)、停車(che)和(he)正常(chang)出產進程(cheng)(cheng)中需要幾十種(zhong)純氣(qi)(qi)和(he)幾+百種(zhong)多(duo)組(zu)(zu)分(fen)(fen)規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)混合氣(qi)(qi), 用(yong)來(lai)校(xiao)(xiao)準、定(ding)標出產進程(cheng)(cheng)中運用(yong)的(de)(de)在(zai)線剖(pou)析(xi)儀器和(he)剖(pou)析(xi)質料(liao)及產品(pin)(pin)質量(liang)(liang)的(de)(de)儀器。規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)氣(qi)(qi)還可(ke)用(yong)于環境監測(ce), 有(you)(you)毒的(de)(de)有(you)(you)機物丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang), 轎(jiao)車(che)排放氣(qi)(qi)測(ce)試(shi), 天然(ran)氣(qi)(qi)BTU 丈(zhang)(zhang)(zhang)量(liang)(liang), 液(ye)化(hua)石油氣(qi)(qi)校(xiao)(xiao)正規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan), 超(chao)臨界流(liu)體(ti)工藝(yi)等。規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)氣(qi)(qi)視氣(qi)(qi)體(ti)組(zu)(zu)分(fen)(fen)數(shu)區分(fen)(fen)為(wei)二(er)元、三元和(he)多(duo)元規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)氣(qi)(qi)體(ti); 配氣(qi)(qi)準度要求以配氣(qi)(qi)允差和(he)剖(pou)析(xi)允差來(lai)表征;比(bi)較通(tong)用(yong)的(de)(de)有(you)(you)SE2M I 配氣(qi)(qi)允差規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan), 但各公(gong)司均有(you)(you)企業規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)。組(zu)(zu)分(fen)(fen)的(de)(de)最低濃度為(wei)10- 6級, 組(zu)(zu)分(fen)(fen)數(shu)可(ke)多(duo)達20余種(zhong)制造(zao)辦法可(ke)選(xuan)用(yong)重量(liang)(liang)法, 然(ran)后用(yong)色譜剖(pou)析(xi)校(xiao)(xiao)核, 也可(ke)按(an)規(gui)(gui)(gui)(gui)范(fan)傳(chuan)遞(di)(di)程(cheng)(cheng)序進行(xing)傳(chuan)遞(di)(di)。
3、 電(dian)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(Electronic gases) :半(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)工業用的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)總稱電(dian)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)。按其類別可(ke)分(fen)為純(chun)氣(qi)(qi)(qi)、高(gao)純(chun)氣(qi)(qi)(qi)和(he)(he)半(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)特別資料(liao)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)三大類。特別資料(liao)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)主要用于外延(yan)、摻(chan)雜和(he)(he)蝕刻工藝;高(gao)純(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)主要用作稀(xi)釋氣(qi)(qi)(qi)和(he)(he)運載(zai)氣(qi)(qi)(qi)。電(dian)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)是特種氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)的一個重要分(fen)支。電(dian)子(zi)(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)按純(chun)度等(deng)級和(he)(he)運用場(chang)合,可(ke)分(fen)為電(dian)子(zi)(zi)(zi)級、LSI(大規劃(hua)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)) 級、VLSI (超大規劃(hua)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)) 級和(he)(he)ULSI (特大規劃(hua)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu))級。
4. 外(wai)延(yan)氣(qi)體(ti)(Cpitaxial gases) :在細心選擇的襯底上選用化學氣(qi)相淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(CVD) 的辦法成長(chang)一層或多層資(zi)料(liao)所用氣(qi)體(ti)稱(cheng)為外(wai)延(yan)氣(qi)體(ti)。硅(gui)外(wai)延(yan)氣(qi)體(ti)有4 種, 即硅(gui)烷、二(er)氯二(er)氫硅(gui)、三氯氫硅(gui)和四氯化硅(gui), 主要(yao)用于外(wai)延(yan)硅(gui)淀(dian)(dian)積(ji)(ji), 多晶(jing)硅(gui)淀(dian)(dian)積(ji)(ji), 淀(dian)(dian)積(ji)(ji)氧化硅(gui)膜(mo), 淀(dian)(dian)積(ji)(ji)氮化硅(gui)膜(mo), 太陽(yang)電池(chi)和其他光感受器的非(fei)晶(jing)硅(gui)膜(mo)淀(dian)(dian)積(ji)(ji)。外(wai)延(yan)成長(chang)是一種單(dan)晶(jing)資(zi)料(liao)淀(dian)(dian)積(ji)(ji)并成長(chang)在襯底外(wai)表上的進(jin)程。此外(wai)延(yan)層的電阻率(lv)往(wang)往(wang)與襯底不同。
5. 蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(Etching gases) :蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)就是把基(ji)片上(shang)無光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠掩(yan)(yan)蔽(bi)的加工外(wai)表如氧化(hua)(hua)硅膜(mo)、金屬膜(mo)等蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)掉, 而使有光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠掩(yan)(yan)蔽(bi)的區域保(bao)存下來(lai), 這樣便(bian)在(zai)基(ji)片外(wai)表得(de)到(dao)所需(xu)要的成像(xiang)圖(tu)形(xing)。蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)的基(ji)本要求是, 圖(tu)形(xing)邊緣規(gui)整(zheng), 線(xian)條清晰, 圖(tu)形(xing)變換差小(xiao), 且對光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠膜(mo)及其(qi)掩(yan)(yan)蔽(bi)維(wei)護(hu)的外(wai)表無損(sun)害和鉆蝕(shi)(shi)(shi)(shi)。蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)辦法(fa)有濕法(fa)化(hua)(hua)學蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)和干(gan)(gan)法(fa)化(hua)(hua)學蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)。干(gan)(gan)法(fa)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)所用氣(qi)(qi)體(ti)(ti)稱蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)氣(qi)(qi)體(ti)(ti), 一(yi)般多為(wei)(wei)氟化(hua)(hua)物氣(qi)(qi)體(ti)(ti), 例如四氟化(hua)(hua)碳、三氟化(hua)(hua)氮、六氟乙(yi)烷(wan)、全氟丙烷(wan)、三氟甲烷(wan)等。干(gan)(gan)法(fa)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)因為(wei)(wei)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)方向性強、工藝操(cao)控精確、便(bian)利(li)、無脫膠現象、無基(ji)片損(sun)害和沾污(wu), 所以其(qi)應用規(gui)模日(ri)益廣泛。
6. 摻(chan)雜(za)氣(qi)(qi)體(ti)(Dopant Gases):在(zai)半導(dao)體(ti)器材和集成電(dian)(dian)路制造(zao)中(zhong), 將(jiang)某種或(huo)某些雜(za)質摻(chan)入(ru)半導(dao)體(ti)資料(liao)內, 以使資料(liao)具有所需(xu)要的(de)導(dao)電(dian)(dian)類(lei)型(xing)和必定(ding)的(de)電(dian)(dian)阻(zu)率(lv), 用來(lai)制造(zao)PN結、電(dian)(dian)阻(zu)、埋層等(deng)。摻(chan)雜(za)工藝所用的(de)氣(qi)(qi)體(ti)摻(chan)雜(za)源(yuan)被稱為(wei)摻(chan)雜(za)氣(qi)(qi)體(ti)。主要包含(han)砷(shen)(shen)烷、磷(lin)烷、三(san)氟化(hua)磷(lin)、五氟化(hua)磷(lin)、三(san)氟化(hua)砷(shen)(shen)、五氟化(hua)砷(shen)(shen)、三(san)氯化(hua)硼(peng)和乙硼(peng)烷等(deng)。一(yi)般將(jiang)摻(chan)雜(za)源(yuan)與(yu)運載氣(qi)(qi)體(ti)(如(ru)氬氣(qi)(qi)和氮氣(qi)(qi)) 在(zai)源(yuan)柜中(zhong)混合(he), 混合(he)后氣(qi)(qi)流連(lian)續流入(ru)分散爐內盤(pan)繞晶片四(si)周, 在(zai)晶片外表堆積(ji)上(shang)化(hua)合(he)物摻(chan)雜(za)劑, 進(jin)而(er)與(yu)硅反應(ying)生(sheng)成摻(chan)雜(za)金屬而(er)徙動進(jin)入(ru)硅。
7. 熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)(Sterilizing Gases) :具有殺菌(jun)效果的(de)(de)氣(qi)體(ti)稱(cheng)熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)。常(chang)(chang)用(yong)(yong)的(de)(de)氣(qi)體(ti)種類有環氧(yang)(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)、磷烷(wan)(wan)、溴甲烷(wan)(wan)、溴甲醛(quan)、環氧(yang)(yang)丙烷(wan)(wan)等(deng)。其滅菌(jun)原理是運(yun)用(yong)(yong)烷(wan)(wan)化效果, 使(shi)微(wei)生物(wu)組織內維持(chi)生命不(bu)行短少的(de)(de)物(wu)質惰(duo)化。最常(chang)(chang)常(chang)(chang)運(yun)用(yong)(yong)的(de)(de)是以不(bu)同份額制造的(de)(de)環氧(yang)(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)和(he)(he)二(er)氧(yang)(yang)化碳的(de)(de)混(hun)合氣(qi), 根據用(yong)(yong)途不(bu)同, 環氧(yang)(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)的(de)(de)含量可所以10%、20%和(he)(he)30%等(deng)。也可選用(yong)(yong)環氧(yang)(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)和(he)(he)氟(fu)利昂12的(de)(de)混(hun)合氣(qi),環氧(yang)(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)與(yu)(yu)氟(fu)利昂11和(he)(he)氟(fu)利昂12的(de)(de)混(hun)合氣(qi)等(deng)。殺菌(jun)效果與(yu)(yu)各(ge)組分濃度、溫度、濕度、時刻和(he)(he)壓力等(deng)因素有關。熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)能夠(gou)用(yong)(yong)于衛(wei)生資料(liao)、醫療用(yong)(yong)具、化妝品質料(liao)、動物(wu)飼料(liao)、糧食、紙(zhi)鈔(chao)。
8. 焊(han)(han)(han)(han)接維(wei)護(hu)氣(qi)體(Welding Gases):氣(qi)體維(wei)護(hu)焊(han)(han)(han)(han)因為具有焊(han)(han)(han)(han)接質量好, 效率高(gao), 易(yi)完成自動化(hua)(hua)等長(chang)處而得以迅速(su)發展。焊(han)(han)(han)(han)接維(wei)護(hu)氣(qi)體可所(suo)以單元(yuan)氣(qi)體, 也有二(er)元(yuan)、三元(yuan)混(hun)合氣(qi)。選(xuan)用(yong)焊(han)(han)(han)(han)接維(wei)護(hu)氣(qi)的(de)目的(de)在(zai)于提高(gao)焊(han)(han)(han)(han)縫(feng)質量, 減少焊(han)(han)(han)(han)縫(feng)加(jia)熱效果帶寬度(du), 避免材質氧(yang)(yang)化(hua)(hua)。單元(yuan)氣(qi)體有氬(ya)(ya)(ya)氣(qi)、二(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)碳, 二(er)元(yuan)混(hun)合氣(qi)有氬(ya)(ya)(ya)和氧(yang)(yang), 氬(ya)(ya)(ya)和二(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)碳, 氬(ya)(ya)(ya)和氦, 氬(ya)(ya)(ya)和氫(qing)混(hun)合氣(qi)。三元(yuan)混(hun)合氣(qi)有氦、氬(ya)(ya)(ya)、二(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)碳混(hun)合氣(qi)。應用(yong)中視(shi)焊(han)(han)(han)(han)材不同選(xuan)擇不同配比的(de)焊(han)(han)(han)(han)接混(hun)合氣(qi)。
9. 離(li)(li)子(zi)注(zhu)(zhu)入氣(qi)( Gases for IonImplantation):離(li)(li)子(zi)注(zhu)(zhu)入是把(ba)離(li)(li)子(zi)化(hua)的雜(za)質, 例如P + 、B + 、As+加速到(dao)高(gao)能(neng)量(liang)(liang)狀態,然后注(zhu)(zhu)入到(dao)預定(ding)的襯底上。離(li)(li)子(zi)注(zhu)(zhu)入技術在(zai)操控Vth(閾值(zhi)電(dian)壓) 方(fang)面(mian)應(ying)用得(de)最(zui)為廣(guang)泛。注(zhu)(zhu)入的雜(za)質量(liang)(liang)可通過丈量(liang)(liang)離(li)(li)子(zi)束(shu)電(dian)流(liu)而求(qiu)得(de)。離(li)(li)子(zi)注(zhu)(zhu)入工藝(yi)所用氣(qi)體稱離(li)(li)子(zi)注(zhu)(zhu)入氣(qi), 有磷系、硼(peng)系和砷系氣(qi)體。
10. 非(fei)液(ye)(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)(Nonliquefied Gases):緊縮氣體(ti)(ti)根據于必定(ding)壓(ya)(ya)力(li)和(he)溫(wen)度(du)下(xia)在(zai)氣瓶(ping)中的物理狀態和(he)沸點規模能夠區(qu)分為(wei)兩大(da)類, 即液(ye)(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)和(he)非(fei)液(ye)(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)。非(fei)液(ye)(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)系指除溶(rong)(rong)解(jie)在(zai)溶(rong)(rong)液(ye)(ye)中的氣體(ti)(ti)之(zhi)外, 在(zai)2111℃和(he)罐裝壓(ya)(ya)力(li)下(xia)完(wan)全是氣態的氣體(ti)(ti)。也可定(ding)義(yi)為(wei)在(zai)正常地面溫(wen)度(du)和(he)13789~17237kPa 壓(ya)(ya)力(li)下(xia)不液(ye)(ye)化(hua)的氣體(ti)(ti)。
11. 液(ye)(ye)化氣(qi)體(ti)( Liquefied Gases ):在(zai)2111℃和罐裝(zhuang)壓(ya)(ya)力(li)下部分液(ye)(ye)化的(de)(de)氣(qi)體(ti)。或定義為在(zai)正(zheng)常溫度和172142~17237kPa壓(ya)(ya)力(li)下在(zai)氣(qi)瓶(ping)中液(ye)(ye)化的(de)(de)氣(qi)體(ti)。緊縮(suo)氣(qi)體(ti)(Compressed Gases)緊縮(suo)氣(qi)體(ti)是指(zhi)在(zai)2111℃下, 在(zai)氣(qi)瓶(ping)中肯(ken)定壓(ya)(ya)力(li)超越27518kPa的(de)(de)任何(he)氣(qi)體(ti)或混(hun)合(he)物(wu); 或與2111℃下的(de)(de)壓(ya)(ya)力(li)無(wu)關, 于(yu)5414℃下肯(ken)定壓(ya)(ya)力(li)超越717kPa 的(de)(de)任何(he)氣(qi)體(ti)或混(hun)合(he)物(wu); 或于(yu)3718℃下氣(qi)體(ti)肯(ken)定壓(ya)(ya)力(li)超27518kPa的(de)(de)任何(he)液(ye)(ye)體(ti)。
12. 稀有氣(qi)(qi)體(ti)(Rare Gases):元素周期表最后一(yi)族的六種惰性氣(qi)(qi)體(ti)中的任何一(yi)種氣(qi)(qi)體(ti), 即(ji)氦、氖、氬、氪、氙(xian)、氡(dong)。前五種氣(qi)(qi)體(ti)均(jun)能(neng)夠空氣(qi)(qi)別離辦法從空氣(qi)(qi)中提取。
13. 低壓液化(hua)(hua)氣(qi)體(ti)(ti)(Low Pressure Liquefied Gases) :臨界溫度(du)大于70℃的(de)氣(qi)體(ti)(ti)。區分(fen)為不燃(ran)無(wu)(wu)毒(du)(du)和不燃(ran)有毒(du)(du)、酸性腐蝕性氣(qi)體(ti)(ti); 可燃(ran)無(wu)(wu)毒(du)(du)和可燃(ran)有毒(du)(du)、酸性腐蝕性氣(qi)體(ti)(ti); 易分(fen)化(hua)(hua)或(huo)聚合(he)的(de)可燃(ran)氣(qi)體(ti)(ti)。此類氣(qi)體(ti)(ti)在充裝時以及(ji)在答(da)應的(de)工作溫度(du)下貯運和運用(yong)進(jin)程(cheng)中均為液態(tai)。包(bao)含的(de)氣(qi)體(ti)(ti)種類有一氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)二(er)(er)(er)(er)氯(lv)甲烷(wan)(wan)(wan)、二(er)(er)(er)(er)氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)氯(lv)甲烷(wan)(wan)(wan)、二(er)(er)(er)(er)氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)二(er)(er)(er)(er)氯(lv)甲烷(wan)(wan)(wan)、二(er)(er)(er)(er)氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)溴氯(lv)甲烷(wan)(wan)(wan)、三氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)氯(lv)乙(yi)烷(wan)(wan)(wan)、四氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)二(er)(er)(er)(er)氯(lv)乙(yi)烷(wan)(wan)(wan)、五氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)氯(lv)乙(yi)烷(wan)(wan)(wan)、八氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)環丁烷(wan)(wan)(wan)、六氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)丙烯(xi)(xi)、氯(lv)、三氯(lv)化(hua)(hua)硼、光(guang)氣(qi)、氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)化(hua)(hua)氫、溴化(hua)(hua)氫、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)化(hua)(hua)硫(liu)(liu)、硫(liu)(liu)酰氟(fu)(fu)(fu)(fu)(fu)、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)化(hua)(hua)氮、液壓石油氣(qi)、丙烷(wan)(wan)(wan)、環丙烷(wan)(wan)(wan)、丙烯(xi)(xi)、正丁烷(wan)(wan)(wan)、異丁烷(wan)(wan)(wan)、1- 丁烯(xi)(xi)、異丁烯(xi)(xi)、順- 2-丁烯(xi)(xi)、反- 2- 丁烯(xi)(xi)、R142b、R 143a、R152a、氯(lv)乙(yi)烷(wan)(wan)(wan)、二(er)(er)(er)(er)甲醚(mi)、氨、乙(yi)胺、一甲胺、二(er)(er)(er)(er)甲胺、三甲胺、甲硫(liu)(liu)醇、硫(liu)(liu)化(hua)(hua)氫、氯(lv)甲烷(wan)(wan)(wan)、溴甲烷(wan)(wan)(wan)、砷(shen)烷(wan)(wan)(wan)、1, 3—丁二(er)(er)(er)(er)烯(xi)(xi)、氯(lv)乙(yi)烯(xi)(xi)、環氧(yang)乙(yi)烷(wan)(wan)(wan)、乙(yi)烯(xi)(xi)基甲醚(mi)、溴乙(yi)烯(xi)(xi)。
14. 高壓液化氣(qi)體(ti)(ti)(High Pressure Liquefied Gases) :臨界溫(wen)度大于(yu)(yu)或(huo)等(deng)于(yu)(yu)-10℃且小于(yu)(yu)或(huo)等(deng)于(yu)(yu)70℃的(de)氣(qi)體(ti)(ti)。區分為(wei)不燃(ran)無毒(du)和(he)不燃(ran)有毒(du)氣(qi)體(ti)(ti); 可(ke)(ke)燃(ran)無毒(du)和(he)自燃(ran)有毒(du)氣(qi)體(ti)(ti); 易分化或(huo)聚合的(de)可(ke)(ke)燃(ran)氣(qi)體(ti)(ti)。此(ci)類(lei)氣(qi)體(ti)(ti)充裝時(shi)為(wei)液態,但在答應的(de)工(gong)作溫(wen)度下貯運和(he)運用進程中其蒸汽壓隨溫(wen)度的(de)升高而(er)升高, 超(chao)越臨界溫(wen)度時(shi)蒸發為(wei)氣(qi)體(ti)(ti)。所包含的(de)氣(qi)體(ti)(ti)種類(lei)有一氧(yang)化二(er)氮、二(er)氧(yang)化碳、三氟(fu)(fu)甲烷、三氟(fu)(fu)氯(lv)甲烷、三氟(fu)(fu)溴甲烷、六氟(fu)(fu)乙(yi)烷、六氟(fu)(fu)化硫、氙、氯(lv)化氫、乙(yi)烷、乙(yi)烯(xi)(xi)、1, 1- 二(er)氟(fu)(fu)乙(yi)烯(xi)(xi)、硅烷、磷(lin)烷、氟(fu)(fu)乙(yi)烯(xi)(xi)、乙(yi)硼烷。