高(gao)純氣(qi)(qi)體的分析(xi)(xi) 高(gao)純氣(qi)(qi)體分析(xi)(xi)的核心是(shi)對(dui)其中的規(gui)定雜(za)質進行定性、定量(liang)測定。由于(yu)高(gao)純氣(qi)(qi)體中的限定雜(za)質數目多, 且含量(liang)極低, 通常(chang)在 10-6～ 10-7范圍(wei), 因此對(dui)測試設備和分析(xi)(xi)人員(yuan)均有較(jiao)高(gao)的要(yao)求。 

目前(qian), 用于高純氣(qi)體(ti)(ti)測(ce)(ce)試(shi)的(de)(de)(de)設備(bei)主要有(you):色譜(pu)(pu)儀(yi)(yi)、質譜(pu)(pu)儀(yi)(yi)、色- 質聯用儀(yi)(yi)、光譜(pu)(pu)儀(yi)(yi)、電化(hua)學儀(yi)(yi)器、露(lu)點儀(yi)(yi)及各種專項測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)表(biao)。經典的(de)(de)(de)化(hua)學分析(xi)方法也是(shi)測(ce)(ce)定化(hua)學活性(xing)雜質的(de)(de)(de)常用手段(duan)。 從事高純氣(qi)體(ti)(ti)分析(xi)的(de)(de)(de)分析(xi)人(ren)員應熟悉氣(qi)體(ti)(ti)分析(xi)的(de)(de)(de)一般(ban)過程, 具有(you)正確選擇檢測(ce)(ce)方法的(de)(de)(de)能(neng)力(li), 并通(tong)過實踐掌握高純氣(qi)體(ti)(ti)分析(xi)的(de)(de)(de)特(te)殊技(ji)(ji)能(neng)。擁有(you)具備(bei)資(zi)格的(de)(de)(de)分析(xi)人(ren)員和適宜(yi)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)設備(bei), 是(shi)開展高純氣(qi)體(ti)(ti)檢測(ce)(ce)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)(de)(de)前(qian)提。 隨著半導(dao)體(ti)(ti)工(gong)(gong)業的(de)(de)(de)發展, 對(dui)氣(qi)體(ti)(ti)產品的(de)(de)(de)質量要求越來越高, 對(dui)高純氣(qi)體(ti)(ti)分析(xi)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)技(ji)(ji)術(shu)要求亦在不斷提高。可以(yi)斷言, 高純氣(qi)體(ti)(ti)測(ce)(ce)試(shi)手段(duan)及方法的(de)(de)(de)研究(jiu)是(shi)一項永無止境(jing)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)。