1.冷凝法(fa):天然氣(qi)提(ti)氦在工(gong)業上采用冷凝法(fa),該法(fa)工(gong)藝(yi)包括天然氣(qi)的預處理凈化(hua)、粗氦制取及(ji)氦的精制等工(gong)序,制得99.99%的純氦氣(qi)。
2.空(kong)分(fen)法:一(yi)般采用(yong)分(fen)凝法,從空(kong)氣(qi)裝置(zhi)中(zhong)提取粗(cu)氦、氖混(hun)合氣(qi),由粗(cu)氦、氖混(hun)合氣(qi)制(zhi)純氦、氖混(hun)合氣(qi),經分(fen)離(li)及純化,制(zhi)得99.99%的純氦氣(qi)。
3.氫(qing)(qing)液化(hua)(hua)法(fa):工(gong)業上(shang)采(cai)用氫(qing)(qing)液化(hua)(hua)法(fa)從合成(cheng)氨尾氣中提氦。該法(fa)工(gong)藝(yi)是低溫吸附清除氮、精(jing)餾得(de)(de)到(dao)粗氦,加氧(yang)催(cui)化(hua)(hua)除氫(qing)(qing)及氦的(de)(de)純(chun)化(hua)(hua),制得(de)(de)99.99%的(de)(de)純(chun)氦氣。
4.高純氦(hai)(hai)法:將(jiang)99.99%的純氦(hai)(hai)進一步用活性(xing)炭吸(xi)附(fu)純化制得99.9999%的高純氦(hai)(hai)氣。
氦氣是最主要的深圳工業氣體品種(zhong)之(zhi)一,應用領域(yu)廣泛(fan)。
在半導體工業中,高純氦氣用(yong)(yong)(yong)作(zuo)(zuo)生長(chang)鍺和(he)硅(gui)晶體(ti)的(de)(de)(de)保護氣(qi)(qi)(qi)。某(mou)些混合(he)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)底氣(qi)(qi)(qi)、清(qing)洗、屏蔽和(he)加(jia)壓(ya)系統(tong)的(de)(de)(de)惰性(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti);氣(qi)(qi)(qi)相色(se)譜載氣(qi)(qi)(qi);在(zai)(zai)生產象鈦和(he)锫那樣的(de)(de)(de)活性(xing)(xing)金屬時用(yong)(yong)(yong)作(zuo)(zuo)保護氣(qi)(qi)(qi);電弧焊接的(de)(de)(de)保護氣(qi)(qi)(qi);在(zai)(zai)原子(zi)(zi)能反應堆中(zhong)作(zuo)(zuo)為(wei)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)冷(leng)卻介質(zhi);充(chong)氦(hai)(hai)飛船(chuan)(chuan),如美(mei)(mei)國(guo)海軍(jun)司(si)令(ling)部和(he)空(kong)軍(jun)司(si)令(ling)部正在(zai)(zai)研究用(yong)(yong)(yong)裝(zhuang)有(you)預警(jing)系統(tong)的(de)(de)(de)飛船(chuan)(chuan)來探(tan)測低空(kong)飛行的(de)(de)(de)導彈;美(mei)(mei)國(guo)毒(du)品管理局(ju)在(zai)(zai)美(mei)(mei)國(guo)南部邊境地區設置了6只(zhi)系留雷達(da)的(de)(de)(de)小型飛艇,用(yong)(yong)(yong)于探(tan)查毒(du)品走(zou)私的(de)(de)(de)情況(kuang);美(mei)(mei)國(guo)邊防巡邏站(zhan)計劃(hua)利用(yong)(yong)(yong)小型飛艇來探(tan)查非法人境的(de)(de)(de)外國(guo)人。美(mei)(mei)國(guo)航空(kong)和(he)航天局(ju)正在(zai)(zai)利用(yong)(yong)(yong)充(chong)氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)球(qiu)來采(cai)集南極洲上空(kong)的(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)樣品,以研究臭氧(yang)層遭(zao)到破壞的(de)(de)(de)各種原因。充(chong)填于在(zai)(zai)寒冷(leng)氣(qi)(qi)(qi)候中(zhong)使用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)熒光燈管;充(chong)填中(zhong)子(zi)(zi)和(he)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)溫度計;設備、管路等(deng)的(de)(de)(de)氦(hai)(hai)質(zhi)譜檢漏(lou);與氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)混臺用(yong)(yong)(yong)于醫療;在(zai)(zai)航天技術上,液氦(hai)(hai)加(jia)注(zhu)系統(tong)的(de)(de)(de)真空(kong)管路、貯槽、槽車(che)以及(ji)火箭貯箱(xiang)中(zhong)的(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)必須首先用(yong)(yong)(yong)高(gao)純氮氣(qi)(qi)(qi)置換(huan),合(he)格后(hou)用(yong)(yong)(yong)高(gao)純氦(hai)(hai)氣(qi)(qi)(qi)置換(huan),分析合(he)格后(hou)用(yong)(yong)(yong)高(gao)純氦(hai)(hai)密封(feng);還(huan)可用(yong)(yong)(yong)作(zuo)(zuo)衛(wei)星和(he)火箭的(de)(de)(de)擠(ji)壓(ya)氣(qi)(qi)(qi)源(yuan)及(ji)姿態控制發動機用(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)源(yuan)。
液氦主(zhu)要(yao)用(yong)于(yu)超(chao)導(dao)技術和磁共(gong)振成(cheng)像(MRI)。超(chao)導(dao)粒(li)子加速器要(yao)用(yong)液氦來(lai)冷卻超(chao)導(dao)磁體。美(mei)國阿貢(Argonne)國家實驗室正在(zai)研究用(yong)于(yu)軍(jun)事和商(shang)業目(mu)的的磁流體推進(jin)(jin)系(xi)統,這種動(dong)力推進(jin)(jin)系(xi)統不使(shi)用(yong)運動(dong)部件。
MRI在醫療上的應用(yong)(yong)價(jia)值(zhi)很高(gao),日本(ben)于(yu)1995年安犍了278套超導MRI,過去單機液氦年用(yong)(yong)量約(yue)400L。超導磁體(ti)庖儲(chu)存(cun)系(xi)統能(neng)儲(chu)存(cun)平時(shi)過多(duo)的電力,需(xu)要時(shi)可(ke)以(yi)為高(gao)峰用(yong)(yong)電提供電力。液氦在低溫技術,同步(bu)加(jia)速器(qi)和回轉加(jia)速器(qi)的研究與開(kai)發中應用(yong)(yong)前景(jing)廣闊。