一、深圳高純氣體的重要標度。

通常，高純(chun)氣(qi)(qi)體系指氣(qi)(qi)體中含較少雜質氣(qi)(qi)氛(fen)(純(chun)度(du)(du)(du))，微量(liang)水(shui)份(干燥(zao)度(du)(du)(du))污染物粒子(zi)的(de)(de)婁量(liang)保(bao)持(chi)在最低限度(du)(du)(du)，其粒度(du)(du)(du)也(ye)應(ying)是最小的(de)(de)(潔(jie)凈度(du)(du)(du))。因此(ci)，對于(yu)高純(chun)氣(qi)(qi)體，純(chun)度(du)(du)(du)、干燥(zao)度(du)(du)(du)、潔(jie)凈是三項重要的(de)(de)標度(du)(du)(du)。
特別(bie)是近10年來，隨著(zhu)更(geng)復雜(za)、更(geng)密集的(de)(de)大規模和超(chao)大規模集成電路(lu)的(de)(de)生產，對(dui)高(gao)純(chun)氣(qi)體潔(jie)凈度的(de)(de)要求，其重(zhong)要程度已不亞于對(dui)純(chun)度和干燥度有(you)嚴(yan)格(ge)要求的(de)(de)用氣(qi)工藝，無(wu)一不對(dui)其中的(de)(de)粒子提出限制。

二、控制粒子污染的重要性

對(dui)于(yu)控制粒(li)(li)子(zi)(zi)污染的(de)重(zhong)(zhong)要性(xing)，在(zai)集(ji)成(cheng)(cheng)電路(lu)生產(chan)(chan)、實驗部門(men)已(yi)經有(you)(you)所認(ren)識，同時，實踐已(yi)向人們表明，氣(qi)(qi)體(ti)的(de)粒(li)(li)子(zi)(zi)可(ke)(ke)造成(cheng)(cheng)微日子(zi)(zi)產(chan)(chan)品的(de)短路(lu)或(huo)斷路(lu)，改變(bian)半導(dao)體(ti)材料(liao)的(de)電性(xing)能(neng)(neng)，也可(ke)(ke)以破壞其晶格結構，影響印刷板的(de)復制等等。這(zhe)些破壞性(xing)因素中(zhong)的(de)任何一(yi)個(ge)，無(wu)可(ke)(ke)導(dao)致集(ji)成(cheng)(cheng)電路(lu)失效的(de)嚴重(zhong)(zhong)后果(guo)。通(tong)常，粒(li)(li)子(zi)(zi)的(de)粒(li)(li)徑小到1微米的(de)十(shi)(shi)分(fen)(fen)之幾，便可(ke)(ke)造成(cheng)(cheng)斷路(lu)，而更小的(de)鑿子(zi)(zi)，便函(han)可(ke)(ke)使線路(lu)工(gong)作降(jiang)級。所以，防止粒(li)(li)子(zi)(zi)污染，在(zai)微電子(zi)(zi)技術(shu)中(zhong)是十(shi)(shi)分(fen)(fen)嚴格的(de)。迄(qi)今，在(zai)純凈(jing)氣(qi)(qi)體(ti)應(ying)用技術(shu)中(zhong)，對(dui)于(yu)大流量(liang)高純氣(qi)(qi)體(ti)輸送系(xi)統，美國(guo)已(yi)有(you)(you)輸送含0。1μm以上(shang)(shang)粒(li)(li)子(zi)(zi)，每立(li)(li)方英尺氣(qi)(qi)體(ti)中(zhong)不超過(guo)10個(ge)的(de)能(neng)(neng)力(li);它還為(wei)幾個(ge)系(xi)統輸送含有(you)(you)0.02μm以上(shang)(shang)粒(li)(li)子(zi)(zi)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)，其粒(li)(li)子(zi)(zi)數(shu)每立(li)(li)方英尺不超過(guo)10個(ge)。

三、潔凈度控制的標準或規定

由于(yu)高純度體(ti)(ti)的使用地點(dian)、性質、關(guan)況(如(ru)(ru)溫度、壓力等(deng))都不完全一致，所以(yi)，如(ru)(ru)何確定高純氣體(ti)(ti)的“三度”(純度、干燥度、潔凈度)，還沒有一個嚴格(ge)而(er)明(ming)確的概念。
對于純度和干(gan)燥度的(de)控制，我(wo)國CBJ73—84《潔凈廠房設計規范》中指出，“高純氣體系(xi)指純度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm氣體。

日本把微電(dian)子生產中(zhong)所采用(yong)的氣(qi)體，按其不同(tong)的品位，具體分為下列幾個不同(tong)的檔次。

超高純氣體

氣體中雜質(zhi)總含量控(kong)制在1ppm以下，水份含量控(kong)制在0.2~1ppm。

高純氣(qi)體(ti)

氣(qi)體中雜質總含量(liang)控制在(zai)5%ppm以下(xia)，水份(fen)含量(liang)控制在(zai)3 ppm以內.