深圳氣體高純氮概述說明、性質、作用及用途: 純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
當前純氮氣主要應用于油田注氮、石油化工、合成纖維、合成氨、浮法玻璃、軋鋼和電子工業等領域。
油(you)(you)田注氮(dan)(dan)的制氮(dan)(dan)裝置規模最大,國外最大已有31萬Nm3/h,氮(dan)(dan)氣(qi)產(chan)(chan)(chan)品純度要(yao)求(qiu)氧(yang)氣(qi)含量低于10ppm,產(chan)(chan)(chan)品壓力一般(ban)在300∽400bar,生產(chan)(chan)(chan)過(guo)程允許有短暫中斷,要(yao)求(qiu)有少量液氮(dan)(dan)儲備;石油(you)(you)化工(gong)、合成(cheng)纖維、合成(cheng)氨(an)、浮法玻璃、軋鋼等的制氮(dan)(dan)裝置規模一般(ban)是從幾千到幾萬不(bu)(bu)等,產(chan)(chan)(chan)品純度為要(yao)求(qiu)含氧(yang)2∽100ppm,產(chan)(chan)(chan)品壓力一般(ban)在1.35∽31bar,有些設(she)備需要(yao)有備用液氮(dan)(dan),要(yao)求(qiu)保(bao)證不(bu)(bu)間斷的產(chan)(chan)(chan)品供應。
電(dian)子工業的制氮(dan)裝置規模(mo)較(jiao)(jiao)小,一(yi)般(ban)是從幾百到幾千,但是產(chan)(chan)品(pin)純度要(yao)求最高(gao),通常對(dui)氧含量要(yao)求低于1ppm,同時對(dui)產(chan)(chan)品(pin)中CO和H2的含量有較(jiao)(jiao)高(gao)要(yao)求。產(chan)(chan)品(pin)壓力(li)在(zai)3∽10bar,要(yao)求產(chan)(chan)品(pin)供應不(bu)間(jian)斷,有備用(yong)液氮(dan)。
制氮(dan)行(xing)業經過了(le)幾十(shi)年(nian)的蓬(peng)勃發(fa)(fa)展,不管從(cong)規模以及產(chan)品要求上都上了(le)一個(ge)臺階,針對不同規格(ge)的產(chan)品,目前國內外已經開發(fa)(fa)出(chu)了(le)與其(qi)相適(shi)應的制氮(dan)流程(cheng)。
產品氮氣(qi)在5到8bar之(zhi)間時(shi)有兩種方案:
第(di)一種方案:返流膨脹流程,膨脹機增壓端增壓產品氮(dan)氣或者(zhe)正流空氣。
第二種方案(an):正流膨脹流程(cheng),膨脹機(ji)增壓端增壓產(chan)品氮氣(qi)(qi)或者正流空(kong)氣(qi)(qi),外加產(chan)品氮壓機(ji)壓縮,壓力高時這種流程(cheng)優勢(shi)大。
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