深圳氣體配送廠家告訴您高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器(qi)對氣體的質(zhi)(zhi)量要求,在氣體出口指標一定的情況(kuang)下(xia),則更需重視配(pei)管(guan)系統(tong)(tong)的材料選用和施工質(zhi)(zhi)量。除取(qu)決于(yu)制氣或凈化設備的精(jing)度外,在很大(da)程度上受到管(guan)路系統(tong)(tong)諸(zhu)多因(yin)素的影響,因(yin)此(ci),管(guan)材的選取(qu)應恪守相關行業(ye)原則,并(bing)注(zhu)明管(guan)道材質(zhi)(zhi)。
高純(chun)度氣體的(de)(de)(de)管道輸送(song),將(jiang)高純氣體(ti)(ti)(ti)(ti)送(song)至用(yong)氣點,并(bing)保持(chi)質(zhi)量合(he)格的(de)(de)(de)關鍵是(shi)供氣系(xi)統設(she)計合(he)理(li)、管件(jian)(jian)及附件(jian)(jian)選擇(ze)正(zheng)確、施工(gong)(gong)安裝(zhuang)正(zheng)確和試(shi)驗檢測合(he)格。高純氣體(ti)(ti)(ti)(ti)管道輸送(song)管道,要根據工(gong)(gong)藝過程對(dui)氣體(ti)(ti)(ti)(ti)純度、允(yun)許的(de)(de)(de)雜質(zhi)含量、微粒含量等的(de)(de)(de)要求(qiu)(qiu)不(bu)同,采用(yong)相應質(zhi)量的(de)(de)(de)管材。比如半導體(ti)(ti)(ti)(ti)產業因(yin)其生(sheng)產工(gong)(gong)藝復雜、加工(gong)(gong)精細,它不(bu)僅要求(qiu)(qiu)有(you)潔凈的(de)(de)(de)生(sheng)產環境(jing),而且對(dui)生(sheng)產過程中所需的(de)(de)(de)各(ge)種(zhong)高純氣體(ti)(ti)(ti)(ti)有(you)特定的(de)(de)(de)、嚴格的(de)(de)(de)要求(qiu)(qiu),從微米(mi)技(ji)術進入(ru)亞(ya)微米(mi)、深亞(ya)微米(mi)(小(xiao)于O.35g.m)技術(shu),對(dui)氣體(ti)中的雜質含量、水含量要求極(ji)為嚴格,10 (ppm級)已經不能(neng)達(da)到要(yao)求,需要(yao)達(da)到10 (ppb級),甚至10一(yi)~2(ppt級),塵(chen)埃粒(li)徑(jing)要求控制到0.05-0。Olla,m。因此(ci)輸送管(guan)道本(ben)身的管(guan)道材料(liao)特性適應高純、超(chao)高純氣體的要求成(cheng)為必須。