1　氣體產品的(de)(de)(de)分類(lei)(lei) 目(mu)前, 國內市場(chang)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)產(chan)品(pin)(pin)按其用(yong)(yong)(yong)(yong)途可 進行如下分類(lei)(lei): A 1 一(yi)(yi)(yi)般工(gong)業用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。包(bao)括(kuo)工(gong)業氫氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、工(gong)業 氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)(deng)。 B1 醫療用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。包(bao)括(kuo)醫用(yong)(yong)(yong)(yong)氧(yang)(yang)(yang)(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、麻醉(zui)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)(deng)。 C1 食品(pin)(pin)工(gong)業用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。如液體(ti)(ti)(ti)二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)。 D1 民(min)用(yong)(yong)(yong)(yong)燃氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。如天然氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi), 液化石油(you)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)(deng)。 E1 電子工(gong)業用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。如硅烷、磷烷等(deng)(deng)。 F1 儀(yi)器儀(yi)表(biao)(biao)用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。如標(biao)準氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、色(se)譜(pu)載氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi) 等(deng)(deng)。 G1 其它特殊用(yong)(yong)(yong)(yong)途用(yong)(yong)(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。 一(yi)(yi)(yi)般情況下, A～D 類(lei)(lei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)產(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)市場(chang) 需求(qiu)(qiu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)很(hen)大, 而純(chun)度要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)不(bu)是很(hen)高(gao)(gao), 主體(ti)(ti)(ti)成 分含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)通常(chang)在(zai)9915% 以(yi)下。 E～ G 類(lei)(lei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)即所謂的(de)(de)(de)特種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti), 其特 點是品(pin)(pin)種繁多, 市場(chang)需求(qiu)(qiu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)較(jiao)小, 純(chun)度要(yao)(yao)求(qiu)(qiu) 高(gao)(gao), 對(dui)其所含(han)(han)(han)(han)(han)的(de)(de)(de)雜質的(de)(de)(de)種類(lei)(lei)和(he)(he)數量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)有(you)著嚴格(ge) 的(de)(de)(de)限(xian)定。 不(bu)同類(lei)(lei)別的(de)(de)(de)同一(yi)(yi)(yi)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti), 質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)差異 很(hen)大。表(biao)(biao)1～ 3 給出了氧(yang)(yang)(yang)(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)在(zai)不(bu)同用(yong)(yong)(yong)(yong)途下的(de)(de)(de)技 術指(zhi)(zhi)標(biao)。 表(biao)(biao)1　工(gong)業用(yong)(yong)(yong)(yong)氧(yang)(yang)(yang)(yang)技術要(yao)(yao)求(qiu)(qiu) 項(xiang)　目(mu) 指(zhi)(zhi)　標(biao) 優等(deng)(deng)品(pin)(pin)一(yi)(yi)(yi)等(deng)(deng)品(pin)(pin)合(he)格(ge)品(pin)(pin) 氧(yang)(yang)(yang)(yang)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(體(ti)(ti)(ti)積分數) ?% ≥ 9917 9915 9912 水分 游離水mL?瓶≤ - 無(wu)游離水100 露點?℃ ≤ - 43 - - 表(biao)(biao)2　醫用(yong)(yong)(yong)(yong)氧(yang)(yang)(yang)(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)技術要(yao)(yao)求(qiu)(qiu) 指(zhi)(zhi)標(biao)名(ming)稱指(zhi)(zhi)　標(biao) 氧(yang)(yang)(yang)(yang)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?% (V?V ) ≥ 9915 水分含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)? gm - 3 (在(zai)20℃ 和(he)(he)10113kPa 下) ≤ 0107 二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?% (V?V ) ≤ 0101 一(yi)(yi)(yi)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)按GB8986 的(de)(de)(de)第(di)5 章檢(jian)(jian)驗應(ying)合(he)格(ge) 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)態(tai)酸和(he)(he)堿含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)按GB8986 的(de)(de)(de)第(di)6 章檢(jian)(jian)驗應(ying)合(he)格(ge) 臭氧(yang)(yang)(yang)(yang)及其他 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)態(tai)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化物含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)按GB8986 的(de)(de)(de)第(di)7 章檢(jian)(jian)驗應(ying)合(he)格(ge) 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)味無(wu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)味 表(biao)(biao)3　電子工(gong)業用(yong)(yong)(yong)(yong)氧(yang)(yang)(yang)(yang)技術要(yao)(yao)求(qiu)(qiu) 項(xiang)目(mu) 指(zhi)(zhi)　標(biao) 超大規模(mo)集 成電路級 半導體(ti)(ti)(ti)及集 成電路級 電子級和(he)(he)散 裝(zhuang)液態(tai)氧(yang)(yang)(yang)(yang) 氧(yang)(yang)(yang)(yang)純(chun)度?% ≥ 9919853 9915 9915 氫含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?1 0- 6 ≤ 1 1 1 氬(ya)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?1 0- 6 ≤ 100 - - 氮(dan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?1 0- 6 ≤ 30 100 100 一(yi)(yi)(yi)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?10- 6 ≤ 1 - - 二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?10- 6 ≤ 1 - - 一(yi)(yi)(yi)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)和(he)(he)二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)化碳(tan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?10- 6 ≤ - 5 5 總烴含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(以(yi)甲烷計) ?10- 6 ≤ 1 5 25 氧(yang)(yang)(yang)(yang)化亞(ya)氮(dan)含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?10- 6 ≤ 1 2 2 氪含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?1 0- 6 ≤ 10 - - 水含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)?1 0- 6 ≤ 2 2 2 總雜質含(han)(han)(han)(han)(han)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(包(bao)括(kuo)稀有(you)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)) ?10- 6≤ 147 5000 5000 2　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)產(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)等(deng)(deng)級與(yu)純(chun)度 習慣上(shang), 我們(men)用(yong)(yong)(yong)(yong)普通氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(工(gong)業氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi))、純(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、 高(gao)(gao)純(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、超純(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)來表(biao)(biao)示氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)產(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)等(deng)(deng)級, 但 目(mu)前尚無(wu)法對(dui)上(shang)述概念規定統一(yi)(yi)(yi)的(de)(de)(de)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)化標(biao) 準。 

66 低溫(wen)與特(te)氣(qi)(qi)(qi)　　1998　　? 3 1994-2007 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. //www.cnki.net 純(chun)(chun)度(du)(du)是(shi)用(yong)(yong)來說明氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量(liang)的(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu)字化表(biao)(biao)(biao)達 方(fang)法。純(chun)(chun)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)定義是(shi)主(zhu)體(ti)(ti)成分的(de)(de)(de)(de)量(liang)占樣(yang)品(pin)(pin)(pin)總 量(liang)的(de)(de)(de)(de)比例: 純(chun)(chun)度(du)(du)= 主(zhu)成分量(liang) 樣(yang)品(pin)(pin)(pin)量(liang) (1) = 1- 2 雜(za)質(zhi)量(liang) 樣(yang)品(pin)(pin)(pin)量(liang) (2) 氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)純(chun)(chun)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)獲得(de)有以下兩種方(fang)式: 11 直接測定主(zhu)體(ti)(ti)成分含量(liang), 由(you)(1) 式求 得(de)。 21 測定各項(xiang)雜(za)質(zhi), 用(yong)(yong)(2) 式計算(suan)求得(de)。 氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)純(chun)(chun)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)示(shi)(shi)(shi)方(fang)法為: (1) 用(yong)(yong)百分數(shu)(shu) 表(biao)(biao)(biao)示(shi)(shi)(shi), 如99% , 9915% , 99199% 等(deng)。(2) 用(yong)(yong) 英文“9”的(de)(de)(de)(de)字頭“N ”表(biao)(biao)(biao)示(shi)(shi)(shi)。如3N、4N、418N、 5N 等(deng)。“N ”的(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu)目與(1) 中“9”的(de)(de)(de)(de)個數(shu)(shu)相(xiang) 對應, 小數(shu)(shu)點(dian)(dian)后的(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu)表(biao)(biao)(biao)示(shi)(shi)(shi)不(bu)足(zu)“9”的(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu), 如 4N (99199% ) , 418N (991998% ) 等(deng)。 純(chun)(chun)度(du)(du)是(shi)確定氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)產品(pin)(pin)(pin)等(deng)級(ji)的(de)(de)(de)(de)指(zhi)標(biao)(biao)之一(yi)。 在我國, 受氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)產品(pin)(pin)(pin)用(yong)(yong)途、生產能(neng)力等(deng)因(yin)素 的(de)(de)(de)(de)制約(yue), 同(tong)一(yi)等(deng)級(ji)不(bu)同(tong)品(pin)(pin)(pin)種的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti), 其純(chun)(chun)度(du)(du) 值(zhi)是(shi)不(bu)一(yi)樣(yang)的(de)(de)(de)(de)。表(biao)(biao)(biao)4 給出(chu)了(le)目前市售高(gao)(gao)(gao)壓鋼 瓶(ping)裝高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)度(du)(du)指(zhi)標(biao)(biao)。 表(biao)(biao)(biao)4　不(bu)同(tong)種類高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)度(du)(du)指(zhi)標(biao)(biao) 高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)名(ming)稱純(chun)(chun)度(du)(du)?% H2, He, N 2, A r, N e, CO 2 ≥991999 O 2, Kr, CO , C2H4, C3H4, SF6 CH4, C3H8, HCl, N 2O , NH3, SO 2 ≥99199 C3H6, n- C4H10, iC4H10, NO BCl3, Cl2, HF, CCl3F, CClF3 ≥9919 CH3Cl, CH3Br, C2H2, CF4 ≥9915 C4F6, PH3, C2H2F2, CH3F ≥9910 3　高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti) 高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)必(bi)(bi)須(xu)滿足(zu)2 個條(tiao)件: 11 主(zhu)體(ti)(ti)成分含量(liang)必(bi)(bi)須(xu)大于某一(yi)定值(zhi)。 21 各雜(za)質(zhi)組分含量(liang)必(bi)(bi)須(xu)小于某一(yi)定值(zhi)。 電子工業用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)、儀(yi)器儀(yi)表(biao)(biao)(biao)校準用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)零點(dian)(dian) 氣(qi)(qi)(qi)、標(biao)(biao)準氣(qi)(qi)(qi)配制用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)、色譜(pu)載氣(qi)(qi)(qi)等(deng)均需(xu)滿足(zu) 以上(shang)要求, 可(ke)列為高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。

 理論上, 高純氣體的(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)= 主(zhu)體(ti)(ti)成(cheng)分(fen)含(han) 量= 1- 2 雜(za)質含(han)量。事實(shi)上(shang), 用(yong)實(shi)驗方法(fa)(fa)(fa)直(zhi)(zhi) 接準確測定(ding)高(gao)純(chun)(chun)(chun)氣體(ti)(ti)中(zhong)主(zhu)體(ti)(ti)成(cheng)分(fen)含(han)量是非常 困難(nan)的(de)(de)。既使(shi)象二(er)氧化(hua)碳這類(lei)產(chan)品, 可以(yi)通 過規(gui)定(ding)的(de)(de)方法(fa)(fa)(fa), 直(zhi)(zhi)接測定(ding)得(de)到“純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)值(zhi)(zhi)(zhi)”, 但 該值(zhi)(zhi)(zhi)也(ye)包含(han)有水分(fen)、酸(suan)性(xing)氣體(ti)(ti)及其它(ta)與強(qiang)堿 作(zuo)用(yong)的(de)(de)成(cheng)分(fen)。所(suo)以(yi)說(shuo), 該“純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)”也(ye)并(bing)非理 論意義上(shang)的(de)(de)氣體(ti)(ti)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)。 而(er)另外(wai)一種通過測定(ding)氣體(ti)(ti)中(zhong)所(suo)含(han)有的(de)(de)所(suo) 有雜(za)質成(cheng)分(fen), 計算求得(de)氣體(ti)(ti)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)(理論純(chun)(chun)(chun) 度(du)(du)(du)(du)(du)) 的(de)(de)方法(fa)(fa)(fa), 同樣難(nan)以(yi)實(shi)現(xian)。 那么, 目前(qian)市場上(shang)高(gao)純(chun)(chun)(chun)氣體(ti)(ti)產(chan)品的(de)(de)“純(chun)(chun)(chun) 度(du)(du)(du)(du)(du)”含(han)義又是什么呢? 筆者(zhe)認為, 所(suo)謂(wei)高(gao)純(chun)(chun)(chun) 氣體(ti)(ti)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)是通過規(gui)定(ding)方法(fa)(fa)(fa)直(zhi)(zhi)接測得(de)或扣除(chu)規(gui) 定(ding)雜(za)質計算求得(de)的(de)(de)濃(nong)度(du)(du)(du)(du)(du)值(zhi)(zhi)(zhi)。這種規(gui)定(ding)是生產(chan) 者(zhe)和(he)用(yong)戶依(yi)據生產(chan)過程和(he)使(shi)用(yong)目的(de)(de)共同協(xie)商 的(de)(de)結果。 評(ping)價高(gao)純(chun)(chun)(chun)氣體(ti)(ti)的(de)(de)質量, 除(chu)進行“純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)(du)(du)(du)”指 標(biao)評(ping)價外(wai), 還需依(yi)據標(biao)準對規(gui)定(ding)雜(za)質進行逐(zhu) 一核對。

任何一項(xiang)超出(chu)(chu)規定的(de)(de)要求(qiu), 都不(bu)能 稱之為合格品。表(biao)5 給出(chu)(chu)了高(gao)純(chun)(chun)氦(hai)氣(qi)(qi)的(de)(de)“純(chun)(chun) 度(du)”及雜質含(han)量(liang)指(zhi)(zhi)標(biao)要求(qiu)。 表(biao)5　高(gao)純(chun)(chun)氦(hai)氣(qi)(qi)產品的(de)(de)質量(liang)要求(qiu) 項(xiang)目 指(zhi)(zhi)　標(biao) 優等品一等品合格品 氦(hai)氣(qi)(qi)純(chun)(chun)度(du)?% ≥ 9919996 9919993 991999 氖含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 1 2 4 氫含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 011 015 1 氧(yang)(氬) 含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 015 1 1 氮含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 1 1 2 一氧(yang)化(hua)碳(tan)含(han)量(liang)?10- 6 ≤ 011 012 015 二氧(yang)化(hua)碳(tan)含(han)量(liang)?10- 6 ≤ 012 012 015 甲烷含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 011 012 015 水分(fen)含(han)量(liang)?1 0- 6 ≤ 1 2 3 4　高(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)體的(de)(de)分(fen)析 高(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)體分(fen)析的(de)(de)核心是對其中的(de)(de)規定雜 質進行定性、定量(liang)測定。由(you)于(yu)高(gao)純(chun)(chun)氣(qi)(qi)體中的(de)(de) 限(xian)定雜質數目多, 且(qie)含(han)量(liang)極低, 通常在10- 6 ～ 10- 7范圍, 因此對測試(shi)設備和(he)分(fen)析人(ren)員均(jun) 有較(jiao)高(gao)的(de)(de)要求(qiu)。